什么樣的砂子,能生產(chǎn)石英坩堝?
石英坩堝是以高純石英為原料加工制備而成,具有熱膨脹系數(shù)小、熱絕緣性好、耐高溫、耐化學(xué)性好、抗震性好等特點(diǎn),是生產(chǎn)單晶硅棒的必要耗材。 從外形上看,石英坩堝為半透明狀,有內(nèi)外兩層結(jié)構(gòu),由外向內(nèi)品質(zhì)要求提升。
內(nèi)層是3-5mm的透明層,氣泡較少分布稀疏,直徑在10~100μm,稱為氣泡空乏層,結(jié)構(gòu)均勻致密,以增強(qiáng)坩堝的強(qiáng)度,并且降低內(nèi)表面的溫度防止析晶。外層是不透明層,氣泡較密集,且直徑在50~100μm,稱為氣泡復(fù)合層,這樣的結(jié)構(gòu)使得坩堝受熱均勻,保溫效果好。 從結(jié)構(gòu)上看,由于各家坩堝廠商技術(shù)、配方方案各不相同,內(nèi)外層質(zhì)量配比不完全相等,內(nèi)層砂占比通常在30-40%左右。
石英坩堝的核心原材料是石英砂。那么,什么樣的砂子,能生產(chǎn)出來符合要求的石英坩堝呢? 據(jù)了解,石英坩堝使用的石英砂要求主要在于純度、氣液包裹體、粒度分布、一致性,雜質(zhì)成分高會影響坩堝的耐溫性,還會出現(xiàn)氣泡、色斑、脫皮等現(xiàn)象,嚴(yán)重影響石英坩堝的質(zhì)量。 1、純度 石英坩堝內(nèi)涂層對高純石英砂純度要求較高,純度等級需要達(dá)到4N8(SiO2≥99.998%),且對氣液包裹體、晶格雜質(zhì)、穩(wěn)定性也有較高要求,目前行業(yè)內(nèi)層石英砂主要使用尤尼明、TQC產(chǎn)品。而石英坩堝外涂層、石英管、石英棒、石英舟和石英錠等產(chǎn)品達(dá)到4N5(SiO2≥99.995%)即可。 2、粒度分布 石英坩堝內(nèi)層對高純石英砂的粒度分布要求更均勻,一般要求粒徑在0.1-0.3mm之間,且在該粒徑范圍的累積質(zhì)量分?jǐn)?shù)應(yīng)大于或等于90%。而石英坩堝外層的粒度分布要求相對較低。 3、氣液包裹體 石英坩堝內(nèi)層對高純石英砂的氣液包裹體含量要求更嚴(yán)格,要求控制在較低水平。 4、雜質(zhì)含量 根據(jù)中國電子材料行業(yè)協(xié)會2018年發(fā)布制定的《光伏單晶硅生長用石英坩堝》,要求鋰、鈉、鉀三種元素之和不大于2微克每克,同時(shí)內(nèi)層砂雜質(zhì)含量要求比外層低。另外,雜質(zhì)元素中對鋁的含量不能過低,如果堿金屬含量/鋁含量比值越高,石英粘度越低,也意味著坩堝的熔點(diǎn)越低。 《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2018年版)》明確提出半導(dǎo)體級電弧石英坩堝,規(guī)格:14~24寸;內(nèi)層純度:所有金屬雜質(zhì)含量<12ppm;強(qiáng)度:1500度高溫變形率<2%;壽命可達(dá)200小時(shí)。 5、抗析晶性 石英坩堝使用的石英砂要求在高溫下不易析出晶體,以保證坩堝的質(zhì)量和穩(wěn)定性。 6、透明度 石英坩堝使用的石英砂要求在高溫下不易變黃,以保證坩堝內(nèi)涂層的穩(wěn)定性和質(zhì)量。 綜上所述,石英坩堝內(nèi)、外層對高純度石英砂的具體不同要求指標(biāo)主要是為了滿足不同層面的使用需求,保證石英坩堝的質(zhì)量和穩(wěn)定性,以及在使用過程中能夠耐溫、抗析晶等。
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