蘇州面向全球“揭榜掛帥”！高純合成石英制備關(guān)鍵技術(shù)入選！

6月26日，蘇州市科學(xué)技術(shù)局官網(wǎng)發(fā)布了關(guān)于2024年度蘇州市面向全球“揭榜掛帥”關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)需求的公示。其中，高純合成石英制備關(guān)鍵技術(shù)入選！ 技術(shù)需求名稱(chēng):高純度合成石英制備關(guān)鍵技術(shù) （一）任務(wù)內(nèi)容 高純度合成石英玻璃是高精度光學(xué)儀器的關(guān)鍵材料，高精度光學(xué)儀器對(duì)石英材料指標(biāo)要求極高。本項(xiàng)目通過(guò)研究和開(kāi)發(fā)石英玻璃高均勻控制技術(shù)、超低應(yīng)力控制 技術(shù)、超低金屬雜質(zhì)含量控制技術(shù)、缺陷控制技術(shù)和滲氫技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高純度合成石英材料開(kāi)發(fā)。 （二）關(guān)鍵考核指標(biāo) (1)石英玻璃光學(xué)均勻性:≤1ppm; (2)石英玻璃內(nèi)透過(guò)率:193nm透過(guò)率≥99.5%; (3)石英玻璃應(yīng)力雙折射:≤1nm/cm; (4)石英玻璃條紋(3D):無(wú)可見(jiàn)條紋; (5)石英玻璃雜質(zhì)總含量:≤10ppb; (6)氫分子含量:>1x1016/cm3。 石英玻璃是應(yīng)用日益廣泛的高新技術(shù)材料。石英玻璃的成分為二氧化硅，具有透光性高、耐溫性好、膨脹系數(shù)低等優(yōu)越的物化性質(zhì)，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、光學(xué)、光纖和軍工等高新技術(shù)領(lǐng)域。 據(jù)了解，合成石英玻璃是先制備高純SiCl4，用SiCl4制成高純二氧化硅粉，再用二氧化硅粉制造合成石英玻璃。自然界中水晶礦石的SiO2含量最高,一般為99.99%，其中含有金屬雜質(zhì)總量為50-100ppm，經(jīng)過(guò)物理化學(xué)提純后，SiO2最高含量為99.999%，由于礦石中的微量包裹體，導(dǎo)致Al含量比較高，總金屬雜質(zhì)含量在10~30ppm，仍不能滿(mǎn)足特殊產(chǎn)品的要求，比如光纖預(yù)制棒、集成電路中光刻工序的掩膜片等高科技行業(yè)，均要求SiO2的金屬含量<1ppm，因而需要開(kāi)展合成SiO2的研究和生產(chǎn)，以滿(mǎn)足高科技產(chǎn)業(yè)的需求。

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